半导体

三星3D NAND堆叠至400层以上,传出将使用长江存储Xtacking技术专利

传出三星电子在400层的第10代3D NAND(V10)将使用中国3D NAND厂商长江存储的Xtacking专利,尤其是「混合键合」封装技术中的W2W(Wafer-to-Wafer)。长江存储的Xtacking专利特性,是将记忆体晶片和逻辑晶片分别制造后,利用特殊的混合键合技术将两者黏合在一起。 对于双方针对该专利授权协议的消息,我们求证三星电子,公司表示「无法确认。」

三星电子目前在记忆体领域的现状,不单是AI上使用的高频宽记忆体HBM落后SK海力士,在企业等级的SSD技术上,也处于追赶状态。因此,十分可以理解三星亟欲突破现状,朝着重拾记忆体龙头目标前进。

三星目前的NAND技术为第九代的286层3D NAND(V9),先前就传出三星为了追赶竞争对手,将跳过300层的3D NAND技术,直接朝400层的3D NAND技术前进,推出时间点约莫在2026年。

三星从V10开始就传出可能会采用键合技术。主要是因为目前的NAND是在晶圆上配置控制电路(Peripheral),再向上堆叠记忆体单元(cell),但随着cell堆叠层数增加后,会导底部的控制电路Peripheral承压过大而受损。因此,三星打算先堆叠cell,再接合peri,也就是把两个分开做,然后再用混合键合方式接合在一起。而这样的方式就是多年前长江存储推出的Xtacking技术,因此这次传出三星与长江存储就这方面的专利合作,业界其实不意外。

SK海力士先前也传出要在2025年开发400层以上的3D NAND技术,并且协同设备商、材料商共同研发,业界认为,当3D NAND堆叠到400层以上,都必须采用混合键合技术中的晶圆对晶圆(W2W)技术,将两片晶圆直接黏合,如此才能让高层数稳定,且不会损失太多良率。 SK海力士先前量产238层3D NAND,日前更宣布量产321层,再次提升SSD储存密度,非常适合用在资料中心等。